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氦质谱检漏仪在继电器和集成电路外壳中的应用

阅读:33发布时间:2024-2-12

随着航天技术的发展,泄漏问题已经成为航天产品设计和制造的关键因素,越来越受到各方的重视。相关电子元件的泄漏检测引起了研究者的关注。目前,漏电检测技术主要应用于密封继电器和集成电路外壳。

氦质谱检漏仪可以方便地测量密封继电器的泄漏率。根据不同的产品,采用合适的检漏方法。

背压法检漏.png

继电器背压法氦检

目前密封继电器泄漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。本程序明确规定了密封继电器的检漏条件和步骤。这次主要讨论背压检漏法,属于细节检漏步骤。

继电器的氦质谱背压法检漏方法一般分为三步:

1.加氦压:将被测继电器放入充有氦气的压力罐中;

2.净化:将继电器从压力罐中取出,用氮气或气流吹扫吸附在继电器表面的氦气。

3.检漏:将继电器放入检漏仪的漏箱中进行检测。如果继电器发生泄漏,压入腔内的氦气会通过漏孔进入检漏仪,漏率会显示在仪器上。

image.png

继电器

氦质谱检漏仪中明确规定,选择的加压压力、加压时间和较长的停留时间,应使被检样品的规定泄漏率大于检漏仪较小的可检测泄漏率。因为当漏孔太大时,施加氦气压力时压入的氦气在检漏前是在真空状态下被抽出来的,所以检测不到氦。用氟油法检测原始油泄漏,以确定是否有较大的漏孔。



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