探针台配置确认

探针台配置确认需要注意的几个问题

探针台配置确认需要注意的几个问题，通常需要确定以下问题来确定探针台的选型

1、大需要测几英寸的晶圆或者器件？ 
2、探针台机械精度要求多高？ 
3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？ 
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜大倍率200倍）
5、多需要几根探针同时去点测？ 
6、会测试到的大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对具的要求也会越高。以下*使用同轴具、以上*使用三轴具）
7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状具：100FA，同轴弹簧具：10PA（漏电精度：小能测到的电流的量级）
8、是否会用到探针卡？ 
9、光学显微镜的小分辨率需要用到多少？ 
10、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 
11、接驳的测试仪器接口有哪些？ 
12、测试环境时是否会需要加热或者降温？ 
13、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 
14、是否需要防震桌？ 
15、是否需要屏蔽箱？

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