潍坊艾沃环保设备有限公司
简介:一、产品介绍1、于检测半导体特气的微量泄漏。2、采用声光报警。二、产品参数型号XP-703D检测对象气体半导体材料气体(胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等)检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度(单位:ppm)砷烷磷烷乙朋烷硅烷氢气AsH
一、产品介绍
1、于检测半导体特气的微量泄漏。
2、采用声光报警。
二、产品参数
型号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 热线型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 | 砷烷磷烷乙朋烷硅烷氢气 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
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