MKS流量计的详细介绍及选型指南

来源：深圳市科锐诗汀科技有限公司 2014年02月25日 15:46

美国MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。

MKS流量计是一种全金属流量计，适用于各种气体流量测量，模拟输出精度为满量程1%。全金属的179A可满足您的各种电气和机械配置需求，包括卡边缘和电器连接。模拟信号接口有9针和15针，数据接口有S-485和1/4compression。气管接口有VCR和VCO。

MKS流量计以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器。MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀、MKS流量计广泛应用在半导体行业，镀膜玻璃，医药制药行业，生物工程行业，适合各种气体媒介，常用的有氧气，氢气，氮气，氯化氢气体，氨气，SICL4硅烷气体等。

MKS流量计选型：

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