压电扫描台|P15系列|新品发布

P15压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔直径48mm，非常适于透射光应用，如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。

特点：

行程范围为370 x 370 x270μm；

可选配应变式闭环传感器；

无摩擦、高精度挠性导向系统；

扫描平整度高；

通孔直径48 mm。

应用：扫描显微镜、掩模/晶圆定位、干涉、度量衡学、生物技术、微操作等。

P15压电扫描台XY方向的运动行程为370μm，Z向的运动行程为270μm，它的内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动小化。

P15压电扫描台可选配闭环反馈传感器，可提供更高的定位精度，非常适合高精度定位应用。

闭环上升曲线

与常规的闭环压电扫描台相比，P15系列在外观上略有不同，它的台体上具有两个出线孔，分别为PZT供电引线及闭环信号反馈引线。并且，P15系列压电扫描台的移动面，较台体平面高出一部分，更易辨别。

P15压电扫描台技术参数

型号：P15.XYZ300S

XY标称行程范围：370(±185)µm/轴

Z标称行程范围：270µm

传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：8/5nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.15%F.S.

运动方向刚度：X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

空载谐振频率：X120/Y150/Z250 Hz

大承载：0.5Kg

XY静电容量：21μF

Z静电容量：7.2μF

材质：铝

重量：900g

应用案例

纳米光刻

首先计算机将BMP图转化为灰度图，然后再通过控制系统控制压电扫描台，带动镀膜镜片在0-300μm范围内对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成BMP图的纳米定位加工。

AFM原子力显微镜

闭环纳米定位扫描台作为原子力显微镜的一部分，可带动样品进行高速精密运动，可以实现X、Y、Z轴280μm的扫描，分辨率为亚纳米级，响应时间可达亚毫秒。

干涉

压电扫描台的Z向的纳米级的微运动，调整待测物的位置，从而改变对应的干涉条纹的宽度及位置，以达到更的表面测量。