压电促动器应用于笼式结构白光干涉

压电促动器具有纳米级分辨率、亚毫秒级响应速度等特点，并且压电促动器及其控制器的体积小巧，非常易于集成至笼式结构中，进行快速及高精度的光学路径调整。

笼式结构白光干涉仪的体积小巧，将芯明天7VS12压电促动器及USB式压电控制器集成于该设备中，可对白光中含有的各种光波长的干涉做快速扫描。

7VS12 压电促动器参数：

• 位移：9µm

• 直径：12mm

• 谐振频率：40kHz

E63 USB式压电控制器参数：

• USB供电

• 上位机软件直观控制

• 输出电压：150V

压电促动器分开环与闭环两种版本，其中开环版本适用于动态快速扫描、步进；闭环版本内部配置有位移传感器，非常适用于静态或半静态的位移运动及保持。

对于笼式结构或其他结构的干涉仪应用，可根据光的波长及步进距离选择压电促动器的位移等参数。

我们可提供该白光干涉的整套设备，在该设备基础上，增加部分部件及算法，即可达到干涉测量的目的。