压电驱动宏微复合机构在精密定位中的应用

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2019年10月08日 10:19

精密定位技术对定位系统的精度和行程提出了越来越高的要求，压电机构驱动宏微复合对这一要求提供了关键的技术支持，解决了其要求行程大、定位精度高等技术难题，同时还具备了体积小、响应速度快、出力大等技术优势。

芯明天压电宏微复合机构是手动调节与电压调节相结合的超精密定位台。控制结构分为两部分，一部分为手动调节台，通过千分尺进行调节；另一部分为压电纳米定位台，内部由压电陶瓷驱动，通过施加电压来控制。在粗调机构中，可调整的直线运动行程为13mm，分辨率为10μm。在精调机构中，可调整的直线运动行程可达100μm，分辨率为2.5nm。可通过两种调节结合来达到纳米级定位精度。

以P84系列压电宏微复合机构为例

特点：

· X向运动，1至3维自由组合；

· 易于调节，分辨率可达2.5nm

· 粗调行程13mm/轴

· 精调行程100μm/轴

· 压电调节可选配闭环传感器

· 结构紧凑，体积小巧

技术参数：

型号	尾辍S-闭环	P84.X100S P84.X100K	单位
	尾辍K-开环
运动自由度		X
行程范围（粗调+精调）		13mm+100µm	mm+µm
壳体材料		钢、铝
手动调节部分-千分尺
粗调行程范围		13	mm
粗调分辨率		10	µm
驱动方式		螺纹副（分厘卡）
灵敏度		<2	µm
读数精度		10	微米/格
螺距		0.5	mm/rev.
压电驱动精调部分-压电驱动
精调行程范围	0~120 V	80	µm±20%
	0~150 V	100	µm±20%
传感器类型		SGS/-
步进（分辨率）		7/2.5	nm, typ.
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
运动方向推力		16	N
运动方向的刚度		1	N/µm±20%
承载能力（Z向）		500	g
工作温度范围		-20~80	°C
静电容量		1.8	µF±20%

P84宏微复合机构可与宏动平台配合使用，1~3维自由组合，组成大行程高精度运动平台。

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