定制压电纳米运动平台

P63系列压电纳米运动平台为芯明天标准产品之一，它的标称行程范围为5.5μm/轴，一至三维运动自由度可选。

P63.XYZ-D1是基于P63系列进行内部结构及外观尺寸的微调整，将XY向的标称位移增大到了16μm，以满足使用者对XY向更大运动范围的要求，既在成本上得到了很好的控制，又满足了用户使用的需求。

微调后的P63.XYZ-D1依然保持小体积的特点，尺寸仅L40×W40×H42mm，易于集成。XY轴标称行程为16μm，Z轴标称行程为6μm。

P63.XYZ-D1闭环阶跃时间图（带载）

P63.XYZ-D1压电运动平台，在带载100g负载的情况下，满行程阶跃时间约9ms。

P63.XYZ-D1技术参数

型号：P63.XYZS-D1

运动自由度：XYZ

标称行程范围（0~120V）：XY 16μm，Z 6μm

行程范围（0~150V）：XY 18μm，Z 8μm

传感器类型：SGS

闭环分辨率：0.6nm

开环分辨率：XY0.2/Z0.1nm

闭环线性度：XY0.3%F.S. , Z1%F.S.

闭环重复度：0.5%F.S.

俯仰/偏航/滚动：≤15μrad

空载谐振频率：XY2/Z1kHz

闭/开环空载阶跃时间：8/0.5ms

承载能力：0.5kg

静电容量：X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF

Z轴闭环电压与位移曲线

注：实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。

XY轴开环电压与位移曲线

注：实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。

位移测量

利用电容测微仪测量各轴运动行程。