芯明天柔性铰链压电纳米定位台

芯明天柔性铰链压电纳米定位台将压电陶瓷与柔性铰链机构相结合，使得其可达到亚纳米级分辨率、百微米级位移行程及亚毫秒级响应时间。柔性铰链机构具有高导向精度、结构紧凑且无摩擦，与压电陶瓷相结合组成的分辨率高、频响高的压电纳米定位台，特别适合微纳米定位、超高分辨率显微镜、激光通信等应用。同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧，避免压电陶瓷承受拉力，提高压电纳米定位台的使用寿命。

1~3维线性压电纳米定位台

高精度1~3维压电纳米定位台以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X、Z、XY、XZ、XYZ轴的精密运动，可以实现纳米级分辨率及定位精度。中心通孔版本，非常适用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像等系统。

Z轴压电物镜定位器

芯明天压电物镜定位器是为物镜聚焦显微而设计，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，补偿量小，具有较高聚焦稳定性。聚焦范围可达500μm，负载可达500g。分立式螺纹设计，可适配多种型号的物镜。物镜定位器装入显微检测或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度。

柔性铰链压电偏摆台/偏转镜

芯明天柔性铰链压电偏摆台/偏转镜通过压电陶瓷柔性铰链相结合进行精密角度调整，实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保其具有较高的运动精度和稳定性，可实现亚微弧度分辨率，特别适用于激光光束扫描及激光通信等应用。