压电纳米定位台应用领域

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2020年03月01日 12:17

压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现精密运动的压电平台。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度。压电纳米定位台在各精密运动及定位领域中发挥着至关重要的作用。

P66系列压电纳米定位台

P66系列是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，行程可达60μm，分辨率可达0.7nm。非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、光纤端面检测等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

P63系列压电纳米定位台

P63系列内部采用直驱机构，体积小巧且定位精度高，是为AFM、SPM、STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

P11系列压电纳米定位台

P11系列采用机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。

应用领域

光纤端面检测

光纤连接处出现问题是网络故障的主要原因，因此光纤端面的检测至关重要。压电纳米定位台带动镜片做精密运动，配合显微镜完成对光纤端面质量的干涉检测。

纳米切削

压电纳米定位系统控制刀具缓慢向待加工件表面移动，直至接触，并记录位置，再次移动刀具至加工点，预切削后，再通过压电纳米定位系统控制刀具进行纳米级车削。

3D锡膏检测

锡膏测厚仪是一种利用光栅投影技术，将印刷在PCB板上的锡膏厚度、面积、体积等分布测量出来的设备。为了收集和高度有关的信息，在拍摄的图像上采用二维压电纳米定位台带动光栅移动4次，移动一次拍摄一组图像，终合成一组图像显示出测试结果.

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