相关产品介绍：

双光束激光干涉仪

aixACCT Systems已将*的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统，以进行长达8英寸的晶圆表征。

用于测量d 33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）提供经过验证的精度（x切割石英），max可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间仅为几秒钟。基于新的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得 比较了以相同激发频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理，消除了样品弯曲的影响，这是使用原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。

测量:

-机电大信号应变和极化测量。

-压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果刚度值已知，则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。

-电气和机电性能疲劳。

aixDBLI系统的*性能使其适用于6“晶片上的MEMS（微机电系统）设备的压电和电气可靠性测试。该系统的 分辨率和可重复性优于2％，可大规模生产。整个装置包括位于减振室内的光学组件，TF Analyzer 2000和一些附加的模拟电路。

技术数据:

-解析度:1 pm经过x-cut Quartz测试

-位移/应变测量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V 

 至25 V（可选）

-压电d 33系数：

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V 

         至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-电致伸缩M 33：类似于d 33

-C（V）测量:

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V 

          至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V