压阻式压力传感器的结构

来源：金湖天能自动化仪表有限公司 2011年01月12日 16:41

压阻式压力传感器以半导体应变片为主，其常用的弹性变形体是单晶硅膜片。因此，半导体应变片可采用集成电路技术直接在弹性元件上形成扩散硅电阻，在膜片睛扩散硅四只应变电阻，组成一个全桥测量电路。压阻式压力传感器的特点是体积小，结构简单，灵敏系数大，单晶硅膜片既是弹性元件又是压敏元件，易于批量生产。有的压阻式传感器甚至将温度补偿电路、电源变换电路、放大电路集成在同一硅膜片上，既提高传感器的静态特性和稳定性，又实现传感器的微型化、集成化和智能化，是目前发展和应用较为迅速的压力传感器。这种传感器又称固态压力传感器，也集成压力传感器

免责声明

凡本网注明“来源：仪表网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-仪表网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：仪表网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源（非仪表网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。