芯片光刻机上用的除尘设备

上海今钧机电工程有限公司

我们上海今钧机电是一家集机、电、软件于一体的技术型企业，我们公司致力于自动化表面清洁技术、静电消除技术，解决生产过程中产生的灰尘颗粒木屑杂物等，是一家能够拥有销售、设计以及生产管理的综合技术服务型企业。公司在 申有多项技术产权。

公司有行业经验丰富的技术人才团队，可以为国内各行企业提供行业设备及系统服务工程。

详情介绍

芯片光刻机是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺。

的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常5纳米至几微米之间。光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，*只有少数几家公司能够制造。这也是国产光刻机*的技术难点之一。

影响光刻机精度的原因有很多，比如间隙零件精度都有很大关系，其中容易被忽略的一个原因还有光刻机表面清洁原因，光刻机上有切割掉的碎屑或灰尘都会影响芯片切割的精度,所以光刻机上面需要增加除尘设备来保证切割的精度！

芯片光刻机上用的除尘设备介绍

此设备是上海今钧设计研发的一款可以安装在光刻机上的除尘设备，我公司与国内多家半导体公司有合作经验，成功在多种规格的光刻机上得到应用，受到客户*。我公司常用两种除尘设备应用于光刻机上下面简单介绍一下。

种：毛刷清洁静电消除吸尘设备，此设备的工作原理为静电棒消除静电减少静电吸附力，毛刷清洁刷除灰尘和颗粒，再经过高负压工业吸尘机把灰尘颗粒吸到集尘箱，操作完成！

第二种：强吹静电除尘设备：此设备工作原理为先静电消除再通过高速旋转喷头把灰尘颗粒吹除并扬起，再使用高负压工业吸尘机把灰尘颗粒吸到集尘箱，操作完成！

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