差分驱动压电纳米定位台P16系列升级版

P16系列压电平台是以小体积、大位移而闻名，它的外形尺寸仅60×60×20mm，位移行程可选50μm或100μm，非常小的体积及较低的高度提供了较大的位移。

P16系列XY二维运动压电平台，它的中心具有φ20mm的中心通孔，非常适用于光学应用。

近期，芯明天公司对P16系列进行了升级，对结构和外观进行了改善，使之更加一体化，同时，可靠性也大幅提高。

安装接口

需带载的负载可通过移动面上间距25mm的4个M3螺纹孔或间距16mm的4个M2螺纹孔进行固定，机械接口，安装便捷。

驱动原理

P16系列压电平台是一款特别的运动平台，它采用差分式驱动控制，虽然是二维运动，但它需要一台具有恒压的三通道压电控制器驱动，这是因为它内部每轴的运动都采用两组压电陶瓷差分式驱动，如下图所示。

使用说明/位移曲线

由于差分驱动，P16压电平台的开/闭环位移曲线与非差分驱动式压电平台的会略显不同。以150V驱动电压为例，X轴方向的闭环位移与控制电压的关系如下图所示，Y轴方向的位移&电压曲线与X轴相同。

闭环位移曲线

，在控制电压为75V时，移动平面的位置会回到施加电压前的初始位置。

技术参数

型号：P16.XY100S/K

运动自由度：X Y

标称行程范围：80或±40μm/轴@120V

行程范围：100或±50μm/轴@150V

传感器类型：SGS

通孔尺寸：φ20mm

闭/开环分辨率：10/5nm

闭环线性度：0.4%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滚动：<25μrad

推/拉力：30N

运动方向刚度：0.5N/μm

空载谐振频率：400Hz

闭/开环空载阶跃时间：10/1.6ms

闭环空载工作频率：100Hz@10%行程

闭环空载工作频率：10Hz@行程

承载能力：1.5kg

静电容量：3.6μF/轴

材质：钢、铝

重量：220g

注：P16.XY50S/K的位移范围50μm或±25μm。

典型应用

• 显微成像 • 表面检测 • 干涉 / 计量 • 精密定位 • 光学 • 微操作