何为程控伺服型匀胶机

来源：北京铭成基业科技有限公司 2020年09月21日 15:11

AC200-SE程控伺服匀胶机

性能特点：

1.两种型号可选：AC200-SE（标准型）和AC200-PE（型）

2.内部紧凑设计，缩小设备尺寸，7寸触屏控制面板操作系统，更方便操作

3.标准配置转速10000rpm，可根据用户需求进行定制，

4.工业级伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

5.机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用耐腐蚀HDPE材料，排风和抽气系统位于载片台底部（利于排风效率和匀胶一致性）

6.透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气体的散发

技术参数：

程序设定：可存储100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

转动速度：0-10000rpm（高速可定制）

旋涂加速度：0-50000rpm/see（空载）

马达旋涂转速稳定性误差：小于正负1rpm（AC200-SE）;0.1rpm（AC200-PE）

工艺时间设定：0-3000sec/step，

时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸：碎片至200mm

旋涂作业均匀性：小于正负3%在6英寸范围内

外形尺寸：433*306*306

凡本网注明“来源：仪表网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-仪表网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：仪表网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源（非仪表网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。