Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片

来源：上海伯东企业有限公司 2020年11月24日 15:14

Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片

某芯片实验室为了解决芯片湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题, 引进伯东 Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 用于刻蚀硅微机械陀螺芯片.

Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 技术规格:

该实验室采用的 Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 的核心构件离子源是配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的考夫曼离子源 KDC 75

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC75 技术参数：

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

试验结果:

Hakuto 离子刻蚀机 7.5IBE 刻蚀出的芯片表面平整、光滑,解决了湿法刻蚀难以解决的横向腐蚀问题,并提高了刻蚀速率.

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