P73.Z200大行程压电物镜定位器

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来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2020年11月30日 10:13

典型应用

• 三维成像

• 干涉/计量

• 表面结构分析

• 共焦显微

高稳定性、长使用寿命

P73.Z200压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑、性价比高，可以与市面上很多规格型号的显微物镜配套。物镜定位器内置高可靠性压电陶瓷，与优异的机械结构相结合，具有稳定性好、使用寿命长等优点。

应用分析实例

技术参数

型号：P73.Z200

运动自由度：Z

行程范围（0~120V）：160μm

行程范围（0~150V）：200μm

闭环传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：11/5nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.05%F.S.

推/拉力：80/10N

运动方向刚度：0.25N/μm

空载谐振频率：210Hz

闭/开环空载阶跃时间：20/10ms

承载能力：0.2kg

静电容量：7.2μF

材质：钢、铝

重量：360g

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