电子级盐酸

英文名：Hydrochloric Acid，分子式HCl，相对分子质量36.46。盐酸是氢氯酸的俗称，是氯化氢（HCl）气体的水溶液，为无色透明的一元强酸。盐酸为不同浓度的氯化氢水溶液，呈透明无色或黄色，有刺激性气味和强腐蚀性，易溶于水、乙醇和油等。浓盐酸为含38%氯化氢的水溶液，相对密度1.19，熔点-112℃，沸点-83.7℃。3.6%的盐酸，pH值为0.1。盐酸具有*的挥发性，因此打开盛有浓盐酸的容器后能在其上方看到白雾，实际为氯化氢挥发后与空气中的水蒸气结合产生的盐酸小液滴。

在集成电路制作过程中，基片表面的金属杂质可能会扩散进入基片，导致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉积金属前，确保基片表面没有金属杂质是极为重要的。因为盐酸能和大多数金属反应形成水溶性的盐，然后被水清洗去除，所以使用高纯盐酸进行清洗可有效降低金属杂质。除此之外，在太阳能电池生产过程中，单晶硅和多晶硅也都会采用盐酸和HF的混合液进行清洗。

EL： 单项金属杂质含量≤100ppb,颗粒（≥0.5um）≤100EA/ml
MOS：单项金属杂质含量≤50ppb,颗粒（≥0.5um）≤50EA/ml
UP： 单项金属杂质含量≤10ppb,颗粒（≥0.5um）≤25EA/ml