浅谈英福康真空计的命名规则

来源：深圳市科锐诗汀科技有限公司 2021年03月01日 16:03

所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规，一般前级真空一个，本底和工艺监控各一个，如果进口的真空计，皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等，中国的真空设备厂家中，使用广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空计及控制器。

但是困扰使用者的一个问题是英福康（INFICON）的真空计及控制器种类繁多，型号规格貌似没有规律，很难记忆，今天我们就尝试着解开这个困扰。

真空计从原理上划分很多种类，还有一些复合真空计，从大类上就可以分十几种，加上测量宽度和精度的不同排列组合，可以细分成几十种，根据实际应用可能会构成多种选型，的确会让不熟悉的人头疼不已，不过，英福康（INFICON）的真空计的命名还是有规律可循的：

B-A 型皮拉尼真空计（Bayard-Alpert Pirani Gauge）就是BPG

B-A 型皮拉尼电容膜片真空计（Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是BCG

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