压电偏转镜用于激光扫描系统

激光光束偏转及其扫描在半导体加工、航空航天、生物医学、纳米科学研究等领域得到了越来越多的应用，同时对其性能要求也越来越高。压电陶瓷驱动的偏转镜具有更高的精度和更高的频率，采用应变传感器的闭环系统，具有很高的精确度。压电偏摆镜采用压电陶瓷驱动器直接驱动，多用于图象处理与稳定、激光扫描与通信、光束偏转与稳定等系统。

特点

• 二维θx、θy偏转

• 偏转范围可达12.5mrad

• 毫秒响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

• 可定制适于航天应用版本、真空版本

闭环曲线

P33.T8S压电偏转镜的电压与偏转角度曲线。

带载阶跃时间

P33.T8S压电偏转镜带载50g负载达满行程的阶跃时间约40ms。

技术参数

型号：P33.T8S

运动自由度：θx θy

行程范围@120V：10mrad（≈2060秒）/±5mrad(≈±1030秒)

行程范围@150V：12.5mrad（≈2500秒）/±6.25mrad(≈±1250秒)

传感器类型：SGS

闭环分辨率：0.5μrad(≈0.1秒)

闭环线性度：0.25%F.S.

闭环重复定位精度：0.02%F.S.

空载谐振频率：3.1kHz

闭环载阶跃时间：8ms

静电容量：14.5μF/轴

材质：钢

重量：340g

偏转台长度：91mm

配套压电控制器

压电控制器的主要功能是将微弱的外部模拟输入信号，通过内部功率放大模块将微弱的信号放大到能够满足对压电偏转镜驱动的要求。P33.T8S配套的E70系列压电控制器具有大功率、高带宽、低纹波噪声等特点，通过优化传感伺服模块提供了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制的高频响应速度。