机床激光干涉仪基础知识一篇搞定

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来源：深圳市中图仪器股份有限公司 2021年06月22日 15:48

　　机床激光干涉仪可利用其线性测长功能，不仅能够测量出数控机床的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据并对精度进行补偿。还能帮助我们利用检测图形和数据，来分析数控机床出现故障的原因及解决办法，从而迅速恢复机床，缩短数控机床维修时间，提高数控机床维修的效率。

　　要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据，需要使用激光测量系统的以下组件，主要有：XL 激光头、三脚架和云台、XC 环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜组、光学镜安装组件及安装激光测量软件的计算机。

　　机床激光干涉仪的信号时交流信号，因而对于激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。该产品可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。

　　如果测量光路长度改变（角E反射镜C移动），干涉光束的相对相位将改变，由此产生的相长干涉和相消干涉的循环将导致叠加光束强度的明暗周期变化。角锥反射镜每移动316nm，就会出现一个光强变化循环（明—暗—明）通过计算这些循环来测量移动。通过在这些循环之间进行相位细分，实现更高分辨率（1nm）的测量。

　　机床激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。

　　在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有*的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

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