P66A.X30小体积X向运动压电平台

P66A.X30为一维X向运动压电平台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化结构设计。机构采用放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现38μm范围内的纳米级位置调整。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。平台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。

特性

• 一维X向运动

• 行程达38μm

• 承载力达100g

• 可选闭环版本、真空版本

典型应用

• 纳米级精密位置调整

• 扫描显微

• 微操作

• 纳米定位/测量

• 微加工

高动态 高精度

P66A.X30为小体积高精度运动平台，特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计，内置高可靠性压电陶瓷，实现纳米级精度调整，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000Hz，满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。

技术参数

型号：P66A.X30

运动自由度：X

标称行程范围（0~120V）：30μm

行程范围（0~150V）：38μm

闭环传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：10/5nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/10 N

运动方向刚度：10N/μm

空载谐振频率：2000Hz

闭/开环空载阶跃时间：5/1.5ms

承载能力：100g

静电容量：3.6μF

台体材料：铝

电缆长度：1.5m

推荐控制器

P66A.X30压电纳米定位台为一维X向运动机构，可配套芯明天单通道压电控制器，实现精密运动控制。

E01.D1

LCD，薄膜按键, 可达625mA

RS-232/RS-422/USB通信

软件可二次开发

E53.D

小体积，60mA

RS-232/RS-422/USB通信

软件可二次开发