激光功率能量计/热电堆探头说明

：方小姐

常用到激光能量计，用来探测重复脉冲激光的单发能量和单脉冲激光的能量。Ophir 的热电堆型激光功率计通过热电堆结构将光能转换成热量，再转换为电信号输出，通过校准来**测量激光功率的大小。激光功率计一般由探头和显示设备组成，激光功率计探头按照不同的原理和材料分为热电堆型（thermal）、光电二极管型（PD:Photodiode）、以及包含两种传感器的综合探头（RP），激光能量计则有热释电传感器(PE:Pyroelectric)和热电堆（Thermal）传感器探头。

热电堆型激光功率计表面吸收材料种类较多，对应不同的吸收光谱和不同的功率密度损伤阈值。典型的有：

表面吸收结构探头：

-BB宽光谱吸收材料，此宽光谱吸收材料的镀层损伤域值可达20KW/cm；吸收率大约90%，从紫外到红外的曲线平滑;

-EX (Excimer lasers) 准分子激光专用吸收材料，对于紫外光有高吸收率，可以承受高能量或高平均功率的准分子激光，同时对10.6um和其他波长也有很好的响应，-EX*大平均功率强度约2KW/cm。

-LP长脉冲吸收材料，对于豪秒量级长脉冲或是连续波激光有很高的损伤域值，在1064nm和10.6μm处做过校准，-LP*大平均功率强度约10KW/cm, -LP1*大平均功率强度约20KW/cm。

体吸收结构探头：

-P短脉冲式吸收材料，应用于短脉冲激光的探头，*大平均功率强度50W/cm。对于脉冲激光，吸收材料表面有大约95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。

-HE/-HE1高能量脉冲激光吸收材料，-HE*大平均功率强度500W/cm。对于短脉冲/高平均功率激光都有高的损伤域值。

-HL高能量长脉冲吸收材料，用于脉宽大于2ms的高能量，高平均功率的激光

-PF/-SV 作为-P探头的扩展，能承受更高的平均功率和平均功率密度，-PF（3KW/cm），-SV（60KW/cm）。