流量计精度高、稳定性好、适应工作环境的能力大、智能化程度高、性价比高等性能指标对社会各行业的发展有着重要影响。有许多类型的传感器用于测量气体流量，如截流流量传感器、叶轮流量传感器等，它们大多是通过采集流体的温度、压力等信号，然后将其转换为流量。但是，气体流动状态的不稳定性，影响了流量测量的准确性。直至热式质量流量传感器的出现，才使流量传感器的数量发生了革命，实现了对流体质量流量的直接测量。并且测量值不会因温度或压力的波动而失真，不需要对温度和压力进行补偿。
热式气体流量传感器的发展与应用发明的一种热式气体质量流量传感器是热线式气体流量传感器，它使用一根细小的带加热电流的线材，放置在流场中测量流体的速度、流量。数字化技术的发展，使得连续测量具有不可替代的优越性，但是由于热线式气体流量传感器受多种参数的影响，存在交叉灵敏度问题，因此影响其稳定性和灵敏度，需要对流量和电信号之间的非线性对应关系进行补偿。近几十年来，随着电子技术的迅速发展，各种补偿技术不断改进，热线式流量传感器的精度大大提高，测量范围也在扩大。但是，热丝一致性差，不易批量生产；在测量低流速流体时，热失调现象严重；热丝耐污染能力差，价格高，容易损坏；测量中存在电子噪声，使其响应速度降低，限制了其进一步发展。随着微电子加工技术的发展和MEMS技术的兴起，热膜式气体质量流量传感器成为当前研究的热点。作为热线式气体流量传感器的改进产品，热膜式气体流量传感器由硅微加工技术制成，具有体积小、成本低、稳定性好、兼容性强、精度高、功耗低、响应时间短等优点。
热式气质流量传感器的应用范围很广：
一是锅炉裂解炉燃烧器质量流量的测量控制；
石油化工，石油开采，火炬气质量流量的测量；
燃烧炉的空气质量流量测量控制；燃机氢气质量流量及其控制；
四、食品加工和饮料的气体质量流动与控制；六、水厂氯的质量流量控制；
半导体生产中高纯气体质量流量的测量；
催化剂和化学添加剂的质量流量测量；
泵的保护控制，泵的密封，润滑油池的检漏；
9.控制空调系统；
仪表的质量流量测量，如空气，过程空气，氮等。
热膜式气体质量流量传感器的原理及结构。
根据传热和热耗散原理，研制了一种热膜式气体质量流量传感器。在热敏电阻表面上有气体流动时，会带走一部分热量，从而导致电阻值的变化，这个变化的数量与气体的速度和温度有关。