压电陶瓷在半导体技术领域的应用

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2022年08月10日 14:19

在半导体领域，我公司提供各种基于压电陶瓷的解决方案，包括用于减震的长寿命压电元件，用于定位的高性能大行程纳米定位陶瓷。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台，用于纳米测量应用的压电柔性纳米台，用于掩模对准的纳米对准系统，用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。

应用	解决方案	典型产品	产品展示
纳米压印光盘测试掩模与晶圆对准物镜精密定位光刻	多轴压电系统纳米定位台压电促动器纳米聚焦系统	定制六轴精密压电定位台 P16压电定位扫描台 P76/P72物镜压电定位器
光学干涉	闭环压电促动器与柔性导向系统	定制大行程物镜扫描器 XP-63X高精度纳米定位器 XP-62X压电定位台
电缆接合	压电弯片促动器	压电弯曲片
光学测试/六轴定位	6轴并联机构微定位系统	N90 Hexapod 6轴定位系统定制大行程Hexapod系统
大行程纳米对准系统	铰链放大压电促动器 1-6轴压电柔性定位台	P11.XYZ压电定位台大推力压电促动器
光束扫描与稳定光学路径校正	快速压电偏摆镜系统	P34 微型压电偏摆镜 P33 高动态压电偏摆镜
主动减震	压电堆促动器与陶瓷	大推力压电促动器高压压电陶瓷薄片型压电传感器/致动器
纵向晶圆定位	压电Z/Tip/Tilt偏摆台	P54压电Z向及Z/Tip/Tilt定位平台定制六轴精密压电纳米定位台

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