压电扫描台柔性导向系统的优势

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2022年11月17日 10:26

　　压电扫描台是一款定制设计的三维运动的压电平台，具有特殊的负载安装孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，适用于样品显微成像/扫描、微纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用。压电扫描台中心具有通孔且体积小巧、无摩擦、分辨率高、响应速度快，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有高的可靠性。产品主要应用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像系统等。

　　采用柔性铰链机构，铰链机构基于固体的弹性变形，无滚动和滑动部分，具有零摩擦、高精度的特点，并且具有很高的刚度和承载能力。更重要的是，芯明天压电纳米定位台的定位精度可达纳米级甚至亚纳米级。

　　压电纳米运动系统采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。同时压电效应将电能直接转换为运动，在静态操作时，即使在负载情况下，也不会消耗功率。

　　除了在光刻实验中有着应用，还在激光直写系统中有着广泛的应用。激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗腐蚀材料实施变剂量曝光，显影后在抗腐蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓，激光直写系统的基本工作原理是由计算机控制高精度激光束扫描，在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形，从而把设计图形直接转移到掩模上。

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