为什么要选择主动隔振系统？

▪ 从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

▪ 提高质量、生产量

▪ 更加细小特色的成像能力

▪ 前沿研究

▪ 比气动平台更稳定

▪ 满足SEM标准地点安装参数的**解决方案

▪ 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

主动隔振系统为何选择STACIS

▪ 正中了科研者的的心声，提供了尽可能**的无震环境。

▪ 市场上**强劲的低频隔振系统。

▪ 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。

▪ STACIS**发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应，由于串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

如下优势在业内都是**的

▪ STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

▪ 6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB 

▪ 从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 

专业的环境调查

1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

▪ 完善的环境调查服务

▪ 开具专业环境报告

▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方案

▪ TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

▪ 40多年的行业经验，业内的**

STACIS用户及应用领域

1、微电子、半导体

▪ 晶片检测

▪ 显微光刻技术

▪ 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3、激光台

▪ 生命科学、药物研发

4、工业应用

▪ 精密加工

应用照片