压电物镜扫描器的精度有多高？

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2022年12月23日 15:43

　　压电物镜扫描器是径向极化压电材料的薄圆管体，具有四个外部电极和连续的内部电极。当电压施加到外部电极之一时，相应区域的致动器管壁膨胀，这引起管尖的垂直收缩和大的横向偏转。圆周电极可用于垂直或径向伸展和收缩。压电管扫描器广泛用于扫描探针显微镜、光纤拉伸和光束扫描等应用。可根据要求提供定制尺寸、规格。

　　压电物镜扫描器的命名实际由它的驱动原理及其应用目的相结合而来的。“压电”指的是它的驱动原理，即利用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而产生运动；而“物镜定位器”则是它的应用目的，即用来带载物镜头调节运动。但通常情况下，压电物镜定位器本身是不包含有镜头的，它可以根据实际使用要求带载不同类型的物镜头。

　　压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测、测量或者观测装置，带动物镜聚焦进行Z向运动调节，能与多种高分辨率的显微镜配合使用，可将物镜的聚焦精度提高至纳米级。

　　在驱动内部电极配置中，X和Y电极以标准方式相等且相反极性的电压驱动。通过向内部电极施加满量程负电压，获得等于垂直扫描范围的一半的收缩。该方法利用压电材料更高的正电场强度，其通常是负电场强度的五倍。要注意不要对内部电极施加正电压，因为这会导致去极化。

　　压电陶瓷管配有镍薄膜电极。内部电极是连续的，外部电极是四分区的。通过用稀硝酸蚀刻可以去除表面电极。可根据要求提供定制电极配置。在需要高磁场的应用中，镍电极可以用铜或金代替。铜是一种经济的选择，但金电极有不错的耐腐蚀性和导电性。

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