两个物体表面相互接触即会产生相互作用力,研究具有相对运动的相互作用表面间的摩擦、润滑与磨损及其三者之间关系即为摩擦学,目前摩擦学已涵盖了化学机械抛光、生物摩擦、流体摩擦等多个细分研究方向,其研究的数值量级也涵盖了亚纳米到百微米的区间。摩擦本身是一种能量损耗现象,然而得到合理地利用也能产生巨大的正面效益,因此,准确地测定磨损量并进行精确的控制,是摩擦学研究中的一个重难点。
作为一家专业的微纳3D形貌检测仪器厂商,中图仪器的SuperView系列光学3D表面轮廓仪已在国内各**高校从事化学机械抛光课题研究的教授群体中得到广泛应用,因样件多为超光滑抛光表面,采用光学3D表面轮廓仪较为合适,其中较为关键的粗糙度Sa和Ra等参数,能够确保0.1nm的精度。而针对磨损区域较大、坡度也较为陡峭的生物摩擦和流体摩擦领域,采用中图VT6000系列共聚焦显微镜则更加匹配,其远胜于光学3D表面轮廓仪的大角度测量能力和超景深观察功能,能够轻松胜任磨损较为严重的表面形貌检测,从而帮助研究人员更加精准的掌握磨损量评价数据。
图.磨损形貌
图.磨损体积
图.流体摩擦表面形貌的截面轮廓
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