Z向运动大承载压电扫描台 - P70.Z200系列

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Z向运动大承载压电扫描台 - P70.Z200系列

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2023年12月07日 11:14

P70.Z200系列压电扫描台是一款兼具小体积、大行程、大负载特点的Z向运动一维压电扫描台。它采用机构放大原理，无摩擦柔性铰链导向机构内置高可靠性压电陶瓷驱动，具有中心通孔设计，可带动物镜或样品实现纳米级精度的Z向升降运动，行程可达到200μm，承载可达500g。其内置传感器通过全桥方式连接，无漂移，可以实现在纳米范围内精确定位，闭环分辨率6nm，重复定位精度达0.02%F.S.。产品在显微成像、光学检测、生物科技、图像处理等领域广泛应用。

小体积中心通孔设计

P70.Z200系列压电扫描台体积非常小巧，且具有φ10mm的中心通孔设计，尺寸如下图所示。

负载安装便捷

P70.Z200系列压电扫描台在中心部位配置负载螺纹孔，便于物镜或样品等负载的安装，最大承载可达500g。标准负载适配螺纹W0.8×1/36”,可根据用户不同需求定制螺纹尺寸。

闭环快速阶跃

P70.Z200系列压电扫描台闭环空载阶跃时间为20ms，当带载200g阶跃时间可达30ms，响应速度快。

典型应用举例

应用于笼式结构

芯明天研发生产的P70.Z200系列压电扫描台结构中配备了笼式结构安装通孔，可直接集成到笼式结构中。它可用于带载物镜，进行Z向直线运动的纳米级调整，精确的调整经物镜聚焦后的焦点与样品间的距离。

显微成像

对于高分辨率显微成像技术而言，压电扫描台是其中不可少的一部分，它可以带载物镜或样品做Z向的聚焦或样品位置的调节，大幅提高成像的清晰度，其精度可达纳米级别。且压电扫描台由电信号控制，聚焦速度快，响应速度可达亚毫秒或毫秒量级。

生物科技

随着生物医疗技术的快速发展，精密定位技术也在其领域中广泛应用。如染色体的切割、细胞分离、细胞融合、纳升配药、微流体等，其中定位部分可应用压电定位扫描台，可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干扰能力，进行精确定位。

技术参数

型号	P70.Z200
运动自由度	Z
驱动控制	1路驱动，1路传感
标称行程范围（0~120V）	136μm
行程范围（-20~150V）	200μm
传感器类型	SGS
闭/开环分辨率	6nm/2nm
闭环线性度	0.05%F.S.
闭环重复定位精度	0.02%F.S.
空载谐振频率	500Hz
带载谐振频率@200g	250Hz
闭/开环空载阶跃时间	20ms
承载能力	500g
静电容量	7.2μF
材质	钢、铝
重量	240g（包含6芯连接线）

配套控制器

E53.D1S压电控制器非常适用于驱动P70.Z200系列压电扫描台，它是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的单通道压电陶瓷控制器。该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频率响应速度。

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