热式质量流量计
    热式质量流量计（thermal mass flowmeter, TMF）是利用传热原理枪侧流量的仪表.
即利用流动的流体与热源天然气流量计（流体通道内加热体或管壁外加热体）之间热食交换关系来洲2流
量的仪表。
    20世纪60年代，美国首先为宇航业所需气体质量控侧开发出TMF正式产品，其后应
用于半导体工业的制造设备上，得到很大发展，后又扩展到其他工业应用领域。近年还在工
亚应用上从侧盆气体扩大到侧盆液体。
    由于气体TMF日趋成熟且应用面不断拓宽，标准化组织（ISO）已制定有关“规
范、枪脸、安装、运行和校准.气体TMF的标准ISO 14511, 2001.
    世界工业发达国家已有众多制造企业生产TMF和热式沈Z开关《thermal flow switch）
投放市场.20世纪90年代初中期，世界范田TMF梢青极占流盆仪表的3%0-8%*，年钠
杏台数1.75万.^-4.5万.台。
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