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超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

来源:哈尔滨芯明天科技有限公司   2024年06月17日 10:42  
利用超声谐振驱动原理的压电马达,其基本工作原理就是利用压电材料的逆压电效应,使其能产生超声波频率的机械振动,再通过摩擦驱动的结构设计,从而驱动移动台做旋转运动或直线运动。
超声是一种超出人听觉范围外的高频振动,因此超声压电马达具有噪声小的特点。此外,它还具有结构小,响应速度快,可断电自锁等优点。在精密加工测量仪器、半导体加工设备、医疗、航空航天等高技术领域应用前景广阔。

 

超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

不同压电马达的运动原理

 

 

芯明天超声谐振驱动压电马达超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

01 N59系列直线压电马达

产品外观

超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

产品特点

• 一维X向运动                
• 速度达25mm/s
• 分辨率达50nm
• 断电自锁 

产品应用

• 光学仪器领域
• 精密仪器领域
• 医疗器械
• 微剂量注射器
• 小负载、大行程纳米定位
• 科学研究
• 光纤对接
• 微细加工
• 原子力显微镜
• 半导体的精密定位和微纳操作等

技术参数

型号
N59.9K
运动自由度
X
标称行程范围
9 或 ±4.5mm
速度上限
25mm/s
分辨率
50nm
负载能力
0.2kg
工作温度
0~50℃
质量
4g
材质
铝,不锈钢
电缆长度
0.1m

 


02 N69系列旋转压电马达

产品外观

超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

产品特点
• 360°双向旋转运动
• 速度可达220rpm
• 断电自锁
• 真空版本可选

产品应用

• 光学仪器领域
• 精密仪器领域
• 医疗器械
• 微剂量注射器
• 半导体技术
• 图像处理
• 纳米计量
• 光学仪器设备制造
• 干涉仪等

技术参数

型号
N69.K2
运动自由度
360°双向
最大速度
220rpm
分辨率
30μrad
扭矩
1mN·m
轴向负载力
0.2kg
工作温度
0~50℃
质量
3.5g
材质
钢、铝
电缆长度
0.1m

 


配套控制器

E66.A2K-H1板卡式压电控制器可控制N69系列和N59系列超声压电马达,单通道开环驱动,尺寸为38mm×27mm×12mm,可外部输入PWM信号控制,操作更便捷,小体积设计更易集成。

超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达!

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