薄膜温度传感器的一些研究情况

来源：上海余洋传感科技有限公司 2012年11月23日 20:19

薄膜温度传感器是一种新型的测温传感器，工作原理与普通热电阻，热电偶相同，但它的热接点厚度一般只有几微米。薄膜温度传感器由于具有体积小、响应时间短、灵敏度高、便于集成等特点，适于测量物体随时间快速变化的温度。薄膜热电偶的原理zui早是由德国人P.Hackmann于*次世界大战期间提出的，并将研制出膜厚只有2um的薄膜热电偶传感器用于测量枪膛在弹射出后的温度变化脚。其后世界各地许多学者对薄膜温度传感器的结构、制备方法、性能和应用前景进行了大量研究工作，并取得了令人鼓舞的进展，近年来广泛地应用在内燃机活塞顶面、燃烧室壁面和切削刀尖等瞬态温度测试中。国内西北工业大学的李付国，黄吕权等人研制出新型的薄膜热电偶温度传感器用于测量锻模工作表面和内部瞬态温度；西安公路交通大学的钱兰等研制出用于内燃机壁面传热过程分析的薄膜温度传感器；大连理工大学精密与特种加工*重点实验室的孙宝元等人研究并制作出用于测量切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶。
研制薄膜温度传感器的关键是解决镀膜耐磨、牢固性、抗冲击和绝缘问题以及膜层间的结合难度，国内外学者都有对镀膜工艺做了大量的研究并制作出相应的薄膜式传感器。到目前为止，研究人员研制出的薄膜式温度传感器可以某些场合得到很好的应用，但其通用性存在不足，并且成本高；同时，受到工艺和材料的限制，传感器的使用寿命一般都较短。

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