P76F系列大负载压电物镜定位器，高性能与多适配性的技术创新

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2024年10月18日 10:35

　　随着微纳技术的飞速发展，对精密定位系统的需求日益增长。哈尔滨芯明天科技有限公司，作为纳米定位与测控技术的优秀工具，近期推出的P76F系列方边固定大承载压电物镜定位器，以其优秀的性能和灵活的适配性，促进了行业技术潮流。本文将详细介绍P76F系列压电物镜定位器的技术特点、应用场景以及配套控制器，展现其在精密测量与定位领域的优秀表现。

一、产品概述

　　P76F系列压电物镜定位器是芯明天科技专为高负载应用设计的压电纳米运动平台。该系列定位器采用了先进的柔性铰链设计，实现了无摩擦、直线性好的运动特性，同时确保了高定位精度。其**的顶部方边固定设计，不仅提升了安装的便捷性，还增强了结构的稳定性。P76F系列以其高达90μm的位移能力和900g的负载能力，成为晶圆激光隐形切割、半导体检测设备等大负载应用场景的理想选择。

二、技术特点

　　1. 高精度定位：P76F系列提供闭环控制选项，闭环分辨率可达1nm，线性度优于0.2%F.S.，重复定位精度达到0.03%F.S.，满足了高精度测量的严苛要求。

　　2. 大负载能力：最大承载可达0.9kg，远超同类产品，适用于多种重载工况下的精确定位。

　　3. 灵活适配性：物镜镜头连接器支持多种螺纹牙适配，可根据客户需求进行定制，提高了设备的通用性和灵活性。

　　4. 快速响应：毫秒级响应时间，空载谐振频率高达750Hz，带载谐振频率在900g时仍能达到280Hz，确保了动态操作的快速性和稳定性。

　　5. 耐用可靠：采用高品质材料(钢、铝)制造，结构紧凑，重量轻(仅1740g)，适用于长时间连续工作。

三、应用场景

　　P76F系列压电物镜定位器凭借其优秀的性能，广泛应用于多个高科技领域：

　　1. 三维成像与干涉计量：在显微镜系统中，P76F系列可实现高精度的自动聚焦，提升成像质量。

　　2. 晶圆切割：在半导体制造过程中，P76F系列的大负载能力和高精度保证了晶圆切割的准确性和效率。

　　3. 半导体测试：在芯片测试阶段，P76F系列能够精确定位，满足复杂测试任务的需求。

四、配套控制器

　　为充分发挥P76F系列压电物镜定位器的性能，芯明天科技推出了E53系列压电控制器。该系列控制器专为小体积应用设计，体积小巧，功能强大，支持模拟与数字控制，开闭环可选。其散热区域设计确保了长时间工作的稳定性，且上位机软件支持二次开发，便于用户集成与定制。

结语

　　P76F系列方边固定大承载压电物镜定位器，是芯明天科技在纳米定位与测控技术领域的一次重要创新。其优秀的性能、灵活的适配性和广泛的应用前景，必将为微纳技术的发展注入新的动力。随着技术的不断进步和市场的不断拓展，P76F系列定位器必将成为精密定位领域的明星产品，助力各行各业实现更高水平的科技进步。

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