H32.TR4S系列三轴角度运动高精度压电偏摆/旋转台

来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 2024年11月07日 13:19

H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台其内部采用无摩擦柔性铰链结构设计，可实现θx、θy偏摆及θz旋转三维运动。它具有响应速度快、闭环定位精度高、负载大等特点。因其优异的性能，可在模拟振动环境中作为模拟振动台，完成高精度、快速的微振动控制，从而满足用户对精密装备控制精度的测试分析，以验证和提高精密仪器与装备的性能。产品外观如下图所示。

产品特点

θx、θy偏摆及θz旋转

θx、θy偏摆角度可达4.6mrad/轴

θz旋转角度可达3.2mrad

分辨率可达0.05μrad

承载可达1kg

闭环版本定位精度高

亚毫秒响应时间

产品应用

振动试验

空间扰动模拟系统

干涉/计量

大负载运动试验

技术参数

型号		H32.TR4S/K
运动自由度		θx、θy、θz
驱动控制		4路驱动，3路传感/4路驱动
标称偏摆角度（0~120V）		θxθy: 3.7mrad θz: 2.6mrad
Max.偏摆角度（0~150V）		θxθy: 4.6mrad θz: 3.2mrad
传感器类型		SGS/-
分辨率		θxθy: 0.15/0.07μrad θz: 0.1/0.05μrad
闭环线性度		可达0.03%F.S.
闭环重复定位精度		可达0.02%F.S.
空载谐振频率		θxθy: 250Hz θz: 560Hz
带载谐振频率@1kg		θxθy: 140Hz θz: 200Hz
静电容量		θxθy: 14.4μF θz: 10.8μF
阶跃时间		30ms@1kg/10ms
承载能力	水平安装	1kg
	立式安装	0.5kg
	倒置安装	0.5kg
材质		不锈钢、铝合金
重量（不含线）		2240g

配套控制器

E70.D4系列压电控制器非常适用于驱动H32.TR4S系列压电偏摆/旋转台。它是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的四通道压电控制器。采用DC24V供电，输出电压为0~120V或0~150V，开闭环可选，模拟及数字控制，可通过串口、USB或网口进行数字通信，且体积小，非常易于集成。

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