平面平晶的测量方法

来源：上海舒耀仪器设备有限公司 2025年04月29日 07:29

平面平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的常用工具。具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差.平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2）,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。

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