在线质谱仪不同部件出现问题有不同的针对方法

来源：北京帕莫瑞科技有限公司 2025年05月04日 07:35

　　在线质谱仪的故障与处理

　　1、在线质谱仪内部泄漏

　　(1)内部的密封结构

　　当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。氦质谱检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方。

　　①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，在线质谱仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。

　　②各电磁阀与阀门组件问的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5年以上时，有可能会存在密封失效的问题。

　　③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

　　(2)定位方法

　　在线质谱仪采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：

　　①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。

　　②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。

　　③仪器的反应时间小于1s，所以在一个部位喷吹的时间约3S，再等待约3S后观测信号有无变化。

　　(3)处理方法

　　不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。

　　①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。

　　②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。

　　③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。

　　④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时极易被忽视，此处若有漏可行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。

　　以上便是今天关于在线质谱仪不同部件出现问题有不同的针对方法的全部分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。

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