【炜盛专讲系列五】MEMS微流量传感器的基本概述

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简介

MEMS微流量传感器属于热力学流量传感器中的一种，其敏感体主要是采用易于进行微机电加工的硅基半导体材料制成的，也有采用玻璃基体。常见的加热器有铂电阻和多晶硅两种，测温元件有铂电阻、温度二极管、热电偶三种。此种流量传感器主要适用于清洁气体流量测量。

工作原理

芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征塞贝克效应。请参看上图：加热电阻两侧的等温线。当流体静止时，等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时，等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可直接测出流体质量流量。

主要技术参数：

分类（以我公司传感器为基础）

应用

设备：呼吸仪、制氧机、肺活量仪、麻醉控制仪

空气和环境保护：空气采样器、气体分析仪、自动注样仪

暖通空调：变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制

工业生产及自动化：燃烧器控制、气密检漏

使用选型：

应用中注意事项

1、禁止在强腐蚀性气体、有毒性气体、爆炸性气体环境中使用。

2、气体流量介质中含有脏污会降低使用寿命，建议传感器入口前加装5微米精密过滤器。

3、接触到水，溅上水或浸到水中会造成传感器敏感特性下降或损坏。

4、电源正负极接反或电源过压会造成传感器内部电路烧坏。