德国ADL电源GSW200/500自动检测电流突变
ADLAnaloge&DigitaleLeistungselektronikGmbH成立于1992年,总部位于德国。专注于工业电源和电力电子产品的研发与生产,拥有30多年的溅射技术经验,在产品和涂层设计方面积累了丰富的专业知识。产品线涵盖多种电源和发电机,包括直流溅射电源、脉冲发生器、离子源电源等。
主要产品:
ADL电源
ADL发电机
ADL电源GSW200/500
输出功率 20kW 持续功率,无占空比限制
输出电压 500VDC 可调范围0–100%
输出电流 70A 精度±1%
灭弧能力 40,000次/秒 响应时间≤6μs,消弧时间≤3ms
并联扩展 支持多台并联 最高输出240kW
冷却方式 水冷 水流>3L/min,水温<40℃
结构尺寸 445×132.5×768mm 19英寸机架,3U高度
自动检测电流突变,响应时间≤6μs,消弧动作≤3ms,有效抑制磁控溅射、电弧蒸发中的微短路问题;
消隐时间可调(6μs–10ms),防止二次电弧,降低涂层缺陷率>40%。
行业价值:保障镀膜均匀性(膜厚波动<±3%),延长靶材寿命。
三模式调节:
恒流(CC):电流稳定性±0.5%,适配反应溅射工艺;
恒压(CV):电压波动<1%,确保绝缘涂层一致性;
恒功率(CP):动态适应负载变化,优化能效(转换效率>92%)。
设定值精度:全量程±1%,优于行业标准±2%。
并联扩容:多台并联后功率线性叠加至240kW,同步误差<1%,省去“主从接线”;
操作接口:
支持前面板手动控制或外部接口卡远程操作;
可选3½位数字屏实时监控电流、电压、功率及故障代码;
紧凑集成:3U机箱适配狭窄设备舱,节省空间50%。
水冷散热系统:满负载运行温升≤30°C,耐受无空调环境;
无电位浮动输出:消除接地回路干扰,保障高压操作安全;
三重故障保护:过流/过压/过热自动锁止,需手动复位防止误触发。
型号示例:
ADL电源GSW200/500
ADL电源GS05/800
ADL电源GX150/1000
ADL电源GX150/800
ADL电源GX120/200
ADL电源GX100/800
ADL电源GX60/800
ADL电源GX50/1000
ADL电源GX50/800
ADL电源HX200/500
ADL电源HX300/800
德国ADL电源GSW200/500自动检测电流突变
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