德国MELEC高性能脉冲电源SPIK3000A讲解

MELEC GmbH-一高性能脉冲电源公司IELEC位于德国南部，自1998年起生产和开发用于等离子体应用的直流脉)中控制器。凭借在电力电子和薄膜技术领域20多年的经验，MELEC在研发和工业应用方面制定了标准。

MELEC产品用于产生高度电离的等离子体放电，通常被称为“高功率脉冲磁控溅射"或HPIIS。我们的发生器已成为客户满足脉冲等离子体应用要求的标准工具。

我们的产品是为未来而设计的，具有极大的灵活性和工艺稳健性。

集成的自由脉冲模式发生器(FPPG)使开发、调整和稳定各种创新工艺成为可能。

基于我们的z利权注册，MELEC与大量知m研究机构和大学合作，这些合作记录在各种出版物中

1)SPIK3000A:HiPIMS 5kw-0kw

SPIK3000A脉冲功率控制器能够与任何具有浮动输出的直流电源一起工作，从而将电流平均直流技术轻松升级为最xian进的脉冲功率控制技术。SPIK3000A是SPI线路中的下一个演进步骤，它提供了一个集成函数发生器(FPPG)，可在开/关时间和极性上产生多达8个脉冲。对于更高的峰值电流(峰值高达

50004)，最多可以同步五个SPIK3000A以并联切换。SPIK3000A提供最wen定的脉中电压和电流输出波形。SPIK3000通过串行通信进行控制，并可选择集成任何标准的工业通信接口。消弧时间小干24s的快速电弧水平控制功能确保应用程序不受任何电弧损坏。控制应用程序真实即时动力学的新概念为获得优化的最终解决方案提供了更多机会。

参考型号:4-05-EF、4-10、4-20、4-30

2)测量系统

IELECs测量系统(ms)是确定流程范围的一种简单方法。1S最多可选择测量四个通道(2x和2xI)，比例为100V:10v和100A:107。MS可包含在安装电压和电流转换器的系统机架中，或与接线盒(1B)单独使用。该接线盒包括稳定金属外壳中的电压和电流转换器。1用于捕获和归一化HPIS电压/电流信号。LEI公司的高质量电压和电流转换器用于捕获高电压和电流信号。

参考型号:MS-500-S、IS-500-S-TB、MS-500-D、MS-500-D-TB、MS-1000-S、MS-1000-S-TB、MS-1000-D、MS-1000-D-TB