岛津氦质谱检漏仪使用中有误差的原因分析

来源：上海春粟自动化科技有限公司 2025年09月18日 07:30

　　岛津氦质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。岛津氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

　　岛津氦质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：

　　（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

　　（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

　　（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

　　（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

　　（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

　　岛津氦质谱检漏仪时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：

　　首先，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。

　　第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。

　　第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。

　　第四，氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。

　　第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。

　　第六，检漏仪的性能不稳定。

　　第七，氦气纯度不稳定或存在误差。

　　第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。

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