螺杆真空泵的使用流程

螺杆真空泵的使用流程需严格遵循 “开机前检查→开机操作→运行监控→停机操作→停机后维护” 的逻辑顺序，确保设备安全、高效运行，同时避免因操作不当导致故障。以下是详细步骤及关键注意事项：

一、开机前检查（核心：排除安全隐患，确认设备状态）

开机前需全面排查设备及周边环境，重点关注 “安全、润滑、密封、电路” 四大维度，具体如下：

1. 安全与环境检查

①　确认真空泵周边无杂物堆积，预留至少 0.5 米操作空间，避免散热不良或操作受阻；

②　检查设备接地是否牢固（接地电阻≤4Ω），电源线、控制线无破损、老化，防止漏电风险；

③　若抽除的是腐蚀性、易燃易爆气体，需确认配套的气体过滤 / 防爆装置（如活性炭过滤器、阻火器）已安装且完好，排气管道连接紧密、无泄漏。

2. 润滑系统检查

①　打开齿轮箱油位观察窗，确认润滑油（通常为专用真空泵齿轮油，需符合设备说明书牌号，如 ISO VG 46）油位在 “低” 与 “高” 刻度之间，油质清澈无乳化、发黑或杂质；

②　若设备停机超过 1 个月，需手动转动电机联轴器 2-3 圈，检查是否有卡滞，同时让润滑油均匀覆盖齿轮表面，避免启动时干摩擦。

3. 冷却系统检查

①　若为水冷型真空泵，检查冷却水入口阀门是否开启，冷却水管路无堵塞、泄漏，水压（通常 0.1-0.3MPa）、水温（≤32℃）符合要求；

②　若为风冷型，确认散热风扇叶片无变形、异物缠绕，风扇电机接线正常。

4. 密封与真空系统检查

①　检查真空泵进气口、排气口的法兰密封垫（常用丁腈橡胶或氟橡胶，根据气体性质选择）是否完好，连接螺栓无松动；

②　关闭进气阀门，手动关闭排气端的止回阀（若有），确保泵腔初始密封良好，避免启动时气体倒灌。

5. 仪表与阀门检查

①　确认真空压力表、温度表（齿轮箱温度、排气温度）、电流仪表等显示正常；

②　检查进气阀、排气阀、旁通阀（若有）的开关状态，确保开机前进气阀关闭、旁通阀（用于卸荷启动）打开（部分设备无需旁通阀，以说明书为准）。

二、开机操作（核心：平稳启动，避免冲击负荷）

严格按照 “先辅助系统→后主电机→再加载” 的顺序启动，具体步骤如下：

1. 启动辅助系统

①　若为水冷型，先打开冷却水循环泵（或开启冷却水总阀），确认冷却水正常流通（观察排水管有稳定水流）；

②　若设备配有真空度控制仪、PLC 控制系统，先接通控制电源，进入设备操作界面。

2. 启动主电机（卸荷启动）

①　闭合主电源开关，按下 “启动” 按钮，观察电机转向是否正确（若反转，需立即停机，调换电源线相位）；

②　电机启动后，保持旁通阀开启（或进气阀关闭）状态，让真空泵在 “无负荷” 下运行 3-5 分钟，期间观察：

齿轮箱温度（正常≤80℃）、电机电流（不超过额定电流的 110%）；

设备运转声音（应无异常噪音，如 “咔哒” 摩擦声、“嗡嗡” 过载声）。

3. 加载（开启抽气）

①　待电机运行平稳（通常 3-5 分钟后），缓慢打开进气阀门（建议开度从 1/4 逐步增至全开，避免瞬时进气量过大导致泵腔压力骤降、电机过载）；

②　若配有旁通阀，在进气阀打开的同时，缓慢关闭旁通阀，直至关闭；

③　观察真空压力表，确认真空度逐步上升，达到工艺要求范围（如半导体行业通常需≤1Pa，化工干燥需≤100Pa，具体以工艺需求为准）。

三、运行监控（核心：实时跟踪关键参数，及时预警）

设备运行期间需定期巡检（建议每 1-2 小时记录 1 次数据），重点监控以下 5 个关键参数，异常时立即停机排查：

1. 真空度

①　正常范围（参考）：符合工艺要求，无骤降

②　异常原因及处理建议：骤降可能为进气阀泄漏、密封垫破损→停机检查密封；缓慢下降可能为泵腔磨损→联系维修

2. 齿轮箱温度

①　正常范围（参考）：≤80℃（最高不超过 90℃）

②　异常原因及处理建议：超温可能为润滑油不足 / 变质、冷却失效→停机检查油位 / 冷却系统

3. 电机电流

①　正常范围（参考）：≤额定电流（如 15kW 电机≤28A）

②　异常原因及处理建议：过载可能为进气量过大、转子卡滞→减小进气量或停机检查转子

4. 排气温度

①　正常范围（参考）：≤120℃（水冷）/≤150℃（风冷）

②　异常原因及处理建议：超温可能为冷却不足、气体压缩量过大→检查冷却系统或工艺负载

5. 运转声音

①　正常范围（参考）：均匀、低沉，无尖锐噪音

②　异常原因及处理建议：异常噪音可能为齿轮磨损、轴承损坏、转子间隙过大→停机拆解检查

此外，若抽除含粉尘或可凝性气体（如水蒸气），需每 4 小时检查进气过滤器是否堵塞（通过过滤器前后压差判断，压差≥0.02MPa 时需清洗或更换滤芯），避免进气阻力过大影响抽速。

四、停机操作（核心：逐步卸荷，保护设备与系统）

停机需遵循 “先卸荷→后停主电机→再关辅助系统” 的顺序，避免真空系统倒灌或设备冲击，具体步骤如下：

1. 卸荷（停止抽气）

①　先缓慢关闭进气阀门，若配有旁通阀，可同时缓慢打开旁通阀（平衡泵腔压力），让真空泵在 “无负载” 状态下运行 2-3 分钟，排出泵腔内残留气体；

②　若工艺系统需保持真空，需先关闭真空泵与系统连接的阀门，再进行卸荷操作。

2. 停止主电机

①　按下 “停机” 按钮，待电机停止转动（通常需 1-2 分钟）后，断开主电源开关；

②　若设备配有排气止回阀，确认停机后止回阀已关闭，防止大气倒灌进泵腔。

3. 关闭辅助系统

①　若为水冷型，待齿轮箱温度降至 50℃以下后，再关闭冷却水循环泵或冷却水总阀（避免残留热量导致部件损坏）；

②　断开控制电源，关闭设备操作界面。

4. 紧急停机（特殊情况）

①　若出现以下紧急情况，需立即按下 “急停” 按钮：电机冒烟、齿轮箱温度骤升超 100℃、设备剧烈振动、大量漏油 / 漏水、有刺鼻异味（如烧焦味）；

②　紧急停机后，需排查故障原因，未解决前不得重新启动。

五、停机后维护（核心：延长设备寿命，预防下次故障）

停机后需进行基础维护，为下次启动做好准备，具体如下：

1. 清洁与检查

①　擦拭设备表面油污、灰尘，清理进气过滤器滤芯（可压缩空气反吹，若为纸质滤芯需更换）；

②　检查密封垫、连接螺栓，若有松动及时紧固，密封垫老化（如变硬、开裂）需更换。

2. 润滑油维护

①　若设备累计运行超过 2000 小时（或 6 个月，以先到为准），需更换齿轮箱润滑油：打开放油阀排空旧油，用新油冲洗 1-2 次（每次加入 1/3 新油量，转动联轴器后排空），再加入规定量新油；

②　长期停机（超过 1 个月）时，需在进气口、排气口法兰处加盖防尘罩，防止杂物进入。

3. 记录与归档

①　记录本次运行时间、真空度、温度、电流等关键数据，以及出现的异常情况和处理措施，形成设备运行档案，便于后续故障追溯和维护计划制定。