螺杆真空泵在运行过程中,需围绕 “参数稳定、安全防护、系统适配” 三大核心,实时监控关键状态并规避潜在风险,以保障设备长周期稳定运行。以下是需重点注意的问题,按 “参数监控、安全防护、系统适配、异常处理” 四大维度分类说明:
一、核心运行参数的实时监控与阈值控制
运行中需通过仪表或控制系统,持续跟踪关键参数,一旦超出正常范围,需立即排查原因,避免部件损坏或性能失效:
真空度稳定性
关注真空度是否持续符合工艺要求(如半导体工艺需≤1Pa,化工干燥需≤100Pa),避免真空度骤降(可能因进气阀泄漏、密封垫破损、前置过滤器堵塞)或无法达到目标真空(可能因转子间隙磨损、泵腔有残留气体);
若工艺中存在 “瞬时大流量进气”(如反应釜泄压),需观察真空度波动幅度,避免因负荷突变导致电机过载,必要时通过旁通阀调节压力。
温度类参数控制
齿轮箱温度:正常运行时应≤80℃,最高不超过 90℃;若温度骤升(如超过 95℃),可能是润滑油不足 / 变质(油质发黑、乳化)、轴承磨损,需停机检查油位及油质,必要时更换润滑油或轴承;
排气温度:水冷型≤120℃、风冷型≤150℃;若排气温度过高,可能是冷却系统故障(水冷缺水、风冷风扇停转)或进气中含 “可凝性气体”(如水蒸气)未及时排出,导致压缩过程放热加剧,需优先检查冷却系统。
电机电流与负载
电机运行电流需≤额定电流的 110%(如 15kW 电机额定电流约 28A,最高不超过 30.8A);若电流持续超标,可能是进气量过大(进气阀开度突然增大)、转子卡滞(泵腔内有异物)或电源电压不稳,需先减小进气量,若无效则停机检查泵腔。
运转声音与振动
正常运行时应无 “异常噪音”:如 “咔哒声” 可能是转子与泵壳摩擦(间隙过小或转子变形)、“嗡嗡过载声” 可能是电机负荷过大、“尖锐异响” 可能是同步齿轮磨损;
若设备振动明显(如底座螺栓松动、联轴器不对中),需停机紧固螺栓或重新校准联轴器,避免长期振动导致密封件失效或轴承损坏。
二、安全防护与特殊工况应对
若抽除腐蚀性、易燃易爆或含杂质的气体,需额外注意安全防护,避免设备损坏或安全事故:
腐蚀性气体的防护
确认泵体材质(如 316L 不锈钢)、密封件(氟橡胶、PTFE)与气体兼容(如抽盐酸、氯气需耐腐材质),避免长期运行导致泵腔腐蚀、密封失效;
定期检查进气端的 “耐腐蚀过滤器”(如 PP 材质滤芯),若滤芯堵塞(压差≥0.02MPa)需及时清洗或更换,防止腐蚀性杂质进入泵腔。
易燃易爆气体的防护
严禁在无防爆装置的情况下抽除易燃易爆气体(如甲烷、乙醇蒸气),需配套 “阻火器”(安装在排气端,防止回火)和 “防爆电机”(符合 ATEX 或 IECEx 标准);
运行中避免泵腔温度过高(如排气温度≤100℃,需低于气体闪点),且排气管道需接地(防止静电积聚),禁止将排气直接排入密闭空间。
含杂质 / 可凝性气体的处理
抽除含粉尘、颗粒的气体时,必须在进气端安装 “旋风分离器 + 丝网过滤器”,防止颗粒进入泵腔导致转子磨损、间隙增大(若颗粒卡入转子间隙,可能直接导致卡死);
抽除水蒸气、有机溶剂蒸气等可凝性气体时,需在排气端安装 “冷凝器”,避免气体在泵腔冷凝成液体(如积水会导致润滑油乳化、齿轮锈蚀),同时定期排放冷凝器积液。
三、系统适配与操作规范
设备运行需与上下游系统(如进气管道、真空储罐、辅助装置)适配,且严格遵循操作规范,避免人为失误:
进气与排气系统的适配
进气管道直径需与真空泵进气口匹配(管道直径不小于进气口直径,避免因管道过细导致进气阻力过大,抽速下降);
排气管道需预留 “泄压空间”,避免排气背压过高(通常背压≤0.02MPa),否则会导致泵腔压力升高、电机过载,甚至排气端密封件损坏。
禁止违规操作
严禁 “带负荷启动”:开机前必须关闭进气阀,待电机运行平稳后再逐步打开,避免启动时泵腔压力骤降导致转子冲击;
严禁 “无冷却运行”:水冷型设备需确保冷却水正常流通后再启动,若冷却水中断,需立即停机,防止齿轮箱、泵腔过热;
严禁 “超范围使用”:不可将螺杆真空泵用于抽除 “高黏度液体”(如树脂)、“金属粉尘”(如铝粉)或 “有毒气体”(如氯气,需额外配套尾气处理系统),否则会导致设备不可逆损坏或安全事故。
四、异常情况的应急处理
运行中若出现以下异常,需按 “先停机、后排查、再处理” 的原则操作,避免故障扩大:
1. 真空度骤降
可能原因:进气阀泄漏、密封垫破损、过滤器堵塞
应急处理措施:立即关闭进气阀,停机检查密封件和过滤器,更换损坏部件
2. 齿轮箱温度快速超 90℃
可能原因:润滑油不足 / 变质、轴承卡死
应急处理措施:紧急停机,检查油位和油质,若油质发黑需更换润滑油,必要时检修轴承
3. 电机冒烟或电流超额定值 120%
可能原因:电机过载、绕组短路、转子卡滞
应急处理措施:立即按下 “急停” 按钮,断开主电源,排查进气量或泵腔异物,联系电工检修电机
4. 设备剧烈振动或有刺耳异响
可能原因:联轴器不对中、齿轮磨损、转子变形
应急处理措施:紧急停机,检查联轴器同轴度,拆解泵腔查看齿轮和转子状态,不可强行启动
5. 冷却水中断(水冷型)
可能原因:水管堵塞、阀门误关
应急处理措施:立即关闭进气阀,停机检查冷却系统,疏通管道或打开阀门,待温度降至 50℃以下再重启
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