DL10-GT14-ST-21型方块电阻测试仪使用说明书

DL10-GT14-ST-21型方块电阻测试仪使用说明书

目 录

1. 概述
2. 技术指示
3. 工作原理
4. 仪器结构说明
5. 使用方法
6. 注意事项

一．概述

DL10-GT14-ST-21型方块电阻测试仪是四探针方块电阻测试仪中的新一代产品，是一种依照类似国家标准和美国A.S.T.M标准而设计，专门测量半导体方块电阻(或称薄屋电阻、面电阻，单位Ω/□)的新型仪器。可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(如ITO透明导电氧化膜)……等同类物质的薄层电阻。

该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。

二．技术指标

1. 测量范围：

       按方块电阻量值大小分为二个量程档：

1  1.00～199.99Ω/□；

2  10.0～1999.9Ω/□；

小分辨率：0.01Ω/□；

1. 恒流源：

测量过程误差：≤±0.8%；

1. 模数转换器：

量程：0～199.99mv；

分辨率：10μv；

方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；

1. 测量不确定度：

在整个量程范围内，测量不确定度≤5%；

1. 四探针头：

间距：1mm或3.8mm可选,偏差：≤2%；

针间绝缘电阻≥500MΩ；

1. 电源：

9V叠层电池1节；

三．工作原理

如下图(图1)所示，将四根探针在同一直线上排列的探针以一定压力垂直压在被测样品表面上，在1，4探针间通以电流I时，2、3探针间就产生一定的电压降ΔV。

图1

根据理论公式（见下），

  (Ω/□)

其中：

D:样品直径或长、宽度；

W：扩散层或镀膜层厚度；

S：探针间距；

F（D/S）：样品直径修正因子；

F（W/S）：样品厚度修正因子；

Fsp：探针修正系数；

　　当测量很薄的半导体双面扩散层或玻璃镀层的方块电阻时，被测材料可作类似无穷大，此时，公式中的F（D/S）=4.532；F（W/S）=1，选取探针间距S=1mm；则Fsp=1，这时就有：

   (Ω/□)

当取测量电流I=4.532×10ⁿ(mA)时，即可从显示屏直接读取被测材料的方块电阻。

四．仪器结构说明

　　DL10-GT14-ST-21型手提式方块电阻测试仪，由电气主机和探头(手提式或台式均可)组成。两部分用讯号电缆和接插件相连。

　　面板如下图所示，显示屏用于显示测量的方块电阻数据结果。面板及显示屏指示标志说明如下：

五．使用方法

1. 用连接电缆将探头与方块电阻测试仪主机连接好。
2. 测量时，将电源开关打开（开关下位）。如显示屏LCD显示“    ”时，表示电池欠压，请予更换（更换电池方法，请参考“7”）。
3. 用探头平压在被测物上，即可测量。
4. 测量过程中，当面板上“回路有效指示灯”LED发亮时，表示该次测量读数有效，否则此次测量读数无效。
5. 对大于10.0Ω/□的样品，推荐使用2000.0Ω/□量程；使用200.00Ω/□量程时，如显示屏显示1，表示超量程请使用2000.0Ω/□量程档。
6. 为了节约电池使用完成测量后，请将电源关闭（开关上位）。
7. 更换电池：将电源开关关闭（开关上位），打开机壳后的小盖，重新装上一节9V电池，然后装回后盖。
8. 长期不使用本仪器时，请将电池从机内取出。

六．注意事项

1. 如果被测导电薄膜材料表面上不干净，存在油污或材料暴露在空气中时间过长，形成氧化层，会影响测试稳定性和测试精度。在测试中需要引起注意。
2. 如探头的探针存在油污等也会引起测试不稳，此时可以把探头在干净的白纸上滑动几下擦一擦可以了。