资料简介
测量范围广:5 X 10 -7~1 Pa |
■全金属冷阴极陶瓷传感器 |
■新型几何电极提供了*的点火性能 |
■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样 |
■阳极环和钛阴极可清洗,更换容易 |
■zui小磁场强度测量 |
■ LED指示灯电源和等离子点火 |
■对数模拟输出信号 |
■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信 |
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