压电促动器系列产品样册

压电促动器

直驱压电促动器、机构放大促动器、光纤拉伸器、压电钳 / 线夹、压电移相器、压电宏微复合平台。

纳米级分辨率

行程可达毫米级

出力可达上万牛顿

毫秒至亚毫秒级响应

封装式压电陶瓷促动器非常适于集成到定制型运动设备，提供纳米级分辨率，行程可达 260 微米，微秒级响应时间，且外形壳体非常紧凑。封装式压电陶瓷促动器集成高可靠性、叠堆式、低压 / 高压 PZT 压电陶瓷，外部由柱形不锈钢外壳保护。较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。封装式压电陶瓷促动器可产生的出力达 50000N，使其非常适于机床、主动振动绝缘或自适应力学。封装式压电陶瓷促动器的小体积、高谐振频率的特点又使其非常适于扫描显微、激光调谐、光束偏转、膜片钳或干涉移相等应用。

低压柱形压电陶瓷促动器是通过将低压压电陶瓷叠堆封装于内部，外部由柱形不锈钢外壳保护，并通过机械外壳对压电陶瓷叠堆施加预紧力，较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。它可输出压电陶瓷叠堆产生的位移及出力，且可承受一定的拉力。

VS6 系列是在常规的压电促动器设计基础上做出特殊设计改动的开环版本低压柱形压电陶瓷促动器。与常规的压电促动器不同的是，VS6 系列没有机械接口，底部固定也摒弃常用的螺纹固定，转而通过直接放置或用辅助件定位的方式进行固定，并设计从侧面引出护套和引线。此系列促动器外观非常小巧，十分适合于空间有效的环境下使用。

PSt150/7/40VH13K-B1 金属密封压电促动器，由于与大气绝缘，受环境湿度的影响要小得多。具有更长的使用寿命和更高性能，适用于需要高可靠性的半导体器件制造设备和光通信设备等各种应用中使用。

密封型压电陶瓷促动器因外壳做了全密封，实现了与大气环境的绝缘，进而受环境湿度影响较小，具有更长的使用寿命和更高性能，非常适用于需要高可靠性的半导体器件制造设备和光通信设备等各种应用。

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