直线 / 角位移压电马达

直线压电马达、360 度旋转压电马达、压电螺钉促动器、压电镜架、压电调平台、压电摇摆台、压电调平台、压电马达偏转镜、六轴压电马达平台、压电马达控制器。

N11 系列直线压电马达

N11 系列直线压电马达采用粘滑原理，将 PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧，仅 15×15×7mm^3。而它的行程却可高达 3.6mm，非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。

特点

• 行程可达 3.6mm • 一至三维可选 • 体积小、重量轻 • 速度可达 2mm/s • 断电自锁

应用

• 超分辨成像样品移动 • 微纳装备及制造 • 扫描电镜（SEM）样品操纵 • 纳米聚焦与扫描 • 主动光学 

• 集成电路制造与检测 • 显微及纳米 CT • 大范围电子束直写（EBL） • 高真空样品精度对准及调姿

N31 系列直线压电马达

N31系列直线压电马达，内部采用PZT压电式驱动，直线运动行程可选6、10、25、50、100mm，可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器（光栅传感器），具有更高的定位精度。

可选移动台面。

特点

• 大出力 • 闭环误碰后自动归位 • 可软件操作自动找零位 • 可选光栅数字闭环 • 采用耐磨材料 • 可选二 / 三维 • 可定制真空版本

N31 系列三维闭环压电马达

N31 系列三维闭环压电马达可在 XYZ 三个方向运动，配备有光栅传感器进行闭环控制。内部采用 PZT 压电式驱动，每轴运动行程可选 25、50、100mm，可达纳米级分辨率。

特点

• 行程 25、50、100mm/ 轴可选 • 纳米级分辨率 • 承载达 2.5kg • 光栅传感器

应用

• 超分辨成像样品移动 • 微纳装备及制造 • 扫描电镜（SEM）样品操纵 • 纳米聚焦与扫描 • 主动光学

• 集成电路制造与检测 • 显微及纳米 CT • 大范围电子束直写（EBL） • 高真空样品精度对准及调姿

N56 系列直线压电马达

N56 系列直线压电马达是采用压电微驱动技术，即利用压电微位移致动器实现高精度定位和运动的技术，将压电陶瓷在一定电场作用下的微变形量，经过结构转换，输出宏动直线毫米级行程。

特点

• 压电驱动 • 高分辨率 • 行程可达 50mm • 小体积 • 可选二、三维运动版本 • 开 / 闭环、真空版可选

应用

• 小负载、大行程纳米定位 • 科学研究 • 光纤对接 • 微细加工 • 原子力显微镜 • 半导体的精密定位和微纳操作

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