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洁净检测区的压差控制原理-GTI115

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    76次
  • 上传时间

    2025年04月22日
关键词
GTI,吉泰精密,半导体,差压表,电子设备
上传者
吉泰精密仪器(沈阳)有限公司
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资料简介

当车间产品异物高发时,工程师按照人机料法环测几个方面排查原因,当排查到环境时,无尘车间的压差是必须要排查的。

一、压差控制原则:

1、洁净室与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差,通常情况洁净度高的区域流向洁净度低的区域,使洁净室的洁净度不受到污染空气的干扰

2、不同级别的相邻房间的压差应至少为10Pa。应特别注意关键区域的保护。

EU GMP/FDA :不同级别采用的压差值为10-15Pa,建议12.5Pa。
中国GMP2010版:要求洁净区与非洁净区之间、不同级别洁净区之间的压差应不低于10Pa。
3、洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,一般采用换气次数法确定。


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