半导体专用流量计Sonotec 外夹式超声波流量计co.65使用说明

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资料简介

SEMIFLOW CO.65 把完整电子单元集成进了传感器本体，体积只有几十毫米见方（最小型号仅 44×44×34 mm），无需外接变送板卡，即插即用。

核心性能：

项目	参数
测量原理	超声波时差法，双测量段，干式耦合（内置柔性衬垫）
测量周期	10 ms，毫秒级响应，支持精密定量与闭环控制
准确度	±2%（按测量读数计，低温区另有高精度档）
流量量程	最高约 400 L/min（随管径规格而定）
适配管径	8 种传感器尺寸，覆盖约 1/4" 至 2"（6–63 mm 外径）塑料管
接口	0/4–20 mA、0–20 kHz 频率、PNP/NPN/推挽开关量、数字输入、RS-485（可选 Modbus）
介质温度	0…90 ℃（环境 0…25 ℃ 时）/ 0…60 ℃（环境 0…60 ℃ 时）
防护等级	IP65
供电	12–30 VDC
维护	免维护

开关量输出还可直接用于体积投加（定量 dosing），配合数字输入实现批处理；RS-485 总线最多可挂 12 台传感器，轻松接入既有 PLC 与上位系统。

直面半导体五大典型应用

1. 晶圆清洗设备（单片清洗）：外夹式不接触清洗液，测量各类药液流量，杜绝金属离子析出；

2. 光刻设备：对光刻胶、溶剂进行非接触高精度计量，保证涂布均匀性；

3. 混配设备：毫秒级响应 + 定量输出，精准控制多组分药液配比；

4. 化学品供液系统（CDS）：耐腐蚀、零泄漏，适配 PFA 管路，长期免维护；

5. CMP 浆料输送管路：浆料磨蚀性再强也不接触传感器本身，不磨损、不堵塞。

需要防爆？SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 + Barrier Box ST Ex1

针对可能含易燃溶剂、气体气氛的危险区域，SONOTEC 提供本质安全型 SEMIFLOW CO.66 PI Ex1，配合Barrier Box ST Ex1 安全栅箱使用

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