LYRA3 -- 聚焦离子束扫描电镜

LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件，TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。LYRA3 -- 聚焦离子束扫描电镜

现代电子光路LYRA3 -- 聚焦离子束扫描电镜

·        *的大视野光路设计提供各种工作与显示模式

·        以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”

·        结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

·        全自动镜筒设置与对中

·        成像速度很快

·        3维电子束技术提供实时立体图像

·        可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术

高性能离子光路

·        高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术

·        可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率

聚焦离子束装置

·        装有两套差异泵的*离子束装置使离子散射效应较更低

·        马达驱动高重复性光阑转换器

·        电子束遮没装置与法拉第筒作为标配

·        同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像

·        FIB的操作软件集成在SEM软件

·        软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数

·        微/纳米加工

·        离子束光刻

维修简单

只需要很短的停机检修时间，就能使得电镜*保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细，使得仪器的效率大化，操作简化。

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款*由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)， 有高真空和低真空两种模式，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款*由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，有高真空和低真空两种模式，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。